電子級氣體未來發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)有哪些？

  我們都知道電子級氣體有一定的危險性，那么電子級氣體未來發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)有哪些呢？和立氣體(上海)有限公司就和大家一同了解一下。
  1、電子級氣體污染控制要求日趨嚴格：隨著電子消費品的升級換代，產品制造尺寸越來越大，產品成品率和缺陷控制越來越嚴格，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻。基本上工業(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術指標，直接與分析儀器技術進步帶來的檢測極限（LDL）相關聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到0.1微米，而核凝結技術（CNC）可達到0.01微米。
  2、大流量、不間斷和穩(wěn)定輸送：電子氣體多以集中式供應為趨勢，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統(tǒng)的數(shù)量是根據(jù)機臺對流量的需求進行合理配置。特氣輸送設備必須采用全自動切換供氣，而且多設計了備用設備。對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計。
  3、安全日趨嚴格：電子氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險，其危害性被不同國家區(qū)域和不同的工業(yè)組織進行了詳細的危險等級分類。對于一個大規(guī)模量產的電子工廠，其使用和存儲的電子氣體數(shù)量之多可以毫不夸張地被視為擁有“大規(guī)模殺傷性”武器庫。任何設計上、施工中、日常運行里存在的安全隱患都會對工廠、人員和環(huán)境帶來巨大的災難。
  4、建設成本日趨降低：因為電子工業(yè)投資規(guī)模越來越大，縮短建設周期，降低建設成本也越來越重要。對電子級氣體輸送系統(tǒng)而言，如何在不降低系統(tǒng)污染控制水平和不犧牲安全配置的前提下，努力減少建設和運行成本，同樣是一個挑戰(zhàn)。
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