含氟電子氣體是電子信息材料領域特種電子氣體的重要組成部分

含氟氣體：目前全球電子氣體市場中含氟系列電子氣體約占總量 30%左右。含氟電子氣體是電子信息材料領域特種電子氣體的重要組成部分，主要用作清洗劑、蝕刻劑，也可用于摻雜劑、成膜材料等。典型的傳統含氟電子氣體包括 CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3 等。

四氟甲烷

需求量：微電子工業中用量較大的等離子蝕刻氣體

應用領域：電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑、潤滑劑及制動液等

主要公司：雅克科技子公司科美特、中核紅華、河南氟能、華特股份及 永晶化工，科美特

六氟乙烷

應用領域：用作等離子蝕刻氣體、器件表面清洗劑，還可用于光纖生產與低溫制冷

主要公司：括華特股份、中船重工 718 所

三氟化氮

需求量：2021 年 15800 噸，未來 3 年國內 NF3市場需求復合增速將為 29%左右

應用領域：化學氣相淀積（CVD）裝置的清洗

主要公司：派瑞特氣、曉星新材料、昊華科技下屬黎明院、雅克科技子公司科美特

六氟化硫

應用領域：電子級六氟化硫則主要應用于半導體及面板晶示器件生產工藝中的蝕刻與清洗

主要公司：雅克科技子公司科美特為國內六氟化硫龍頭

2）硅烷：用于制作太陽能電池、光導纖維和光電傳感器 。國內電子級硅烷主要生產商包括硅烷科技（新三板掛牌）、中寧硅業（多氟多子公司）、天宏瑞科（陜西有色天宏與美國 REC 合資）等，興洋科技、中能硅業等廠商自配多晶硅產能，主要產品以光伏等領域應用為主。

3）硼烷：在半導體工業中用作氣態雜質源、離子注入和硼摻雜氧化擴散的摻雜劑，主要用做 P-型半導體芯片生產中的摻雜劑。北方特氣已經成為我國境內半導體用乙硼烷主要供應源。華特股份募投項目中包含 3 萬噸乙硼烷產能

4）乙硅烷：由于乙硅烷有別于硅烷的特殊化學特性(易分解)，在 PECVD、LPCVD 制造工藝中其成膜溫度比硅烷低很多、成膜速率快、膜質量平滑均勻，乙硅烷分子中含硅量比硅烷高許多，因此，未來乙硅烷將會有廣闊的使用空間

5）磷烷、砷烷：磷烷、砷烷均為半導體工藝中非常重要的電子氣體，多用于離子注入、摻雜等工藝中。由于砷烷半導體工藝中的重要材料，迄今為止又尚無代用品，多年來國外一直對我國進口砷烷進行管制及禁運，對我國國家安全及經濟發展構成威脅，所以，生產出中國制造的高純砷烷意義重大并十分迫切。

6）三氯化硼：高純三氯化硼主要用于 IC 制造工藝中技術要求很高、對電路成品率影響很大的化學氣相淀積（CVD）成膜過程和等離子干法刻蝕過程，會對 IC 產品的品質帶來很關鍵的作用，并且不能使用其他電子氣體進行取代。主要布局公司：深冷能源和湖北荊州太和氣體

7）鍺烷：半導體工藝中，鍺烷作為化學氣相沉積硅-鍺膜的前體，主要用于制造電子器件，如集成電路、光電器件，特別是制備異質結二極晶體管：當前國內已有或規劃有鍺烷產能的公司主要包括博純氣體、華特股份、太和氣體及中環裝備參股公司啟源領先，其中博純氣體為國內龍頭