電子級(jí)氣體的發(fā)展趨勢(shì)

電子級(jí)氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格，那么對(duì)于電子級(jí)氣體發(fā)展趨勢(shì)和立氣體(上海)有限公司為大家詳細(xì)分析一下。

隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)換代，產(chǎn)品制造尺寸越來(lái)越大，產(chǎn)品成品率和控制越來(lái)越嚴(yán)格，整個(gè)電子工業(yè)界對(duì)電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來(lái)越苛刻。基本上工業(yè)界對(duì)電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的低檢測(cè)極限（LDL）相關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可測(cè)到0.1微米，而核凝結(jié)技術(shù)（CNC）可達(dá)到0.01微米。

目前12英寸超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到45納米， 對(duì)于大宗氣體的純度都要求在ppt級(jí)別, 顆粒度控制直指CNC分析儀器的下限。實(shí)驗(yàn)室超高亮度發(fā)光二極管（LED）技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到200Lm/w（流明/瓦）以上，對(duì)于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于1ppb（十億分之一），氨氣則采用多級(jí)精餾生產(chǎn)，技術(shù)指標(biāo)到達(dá)7N（7個(gè)9）的“白氨”，5N的氫氣需要采用先進(jìn)的鈀膜純化器提純至9N。

大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)的及時(shí)應(yīng)用有利于提高污染控制。首先大包裝容器保證了氣體品質(zhì)的連續(xù)性，降低了多次充裝污染風(fēng)險(xiǎn)。另外由于換瓶頻率的減少，也減少了污染幾率。BSGS多采用了深層吹掃，提高了吹掃效果。

輸送管路系統(tǒng)普遍采用了316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器（<0.003μm）、VCR接頭等，接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin，同時(shí)采用零死區(qū)設(shè)計(jì)。施工技術(shù)采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序。

氣體輸送系統(tǒng)建成后必須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的保壓、氦檢漏、顆粒度和水分、氧分以及其它氣相雜質(zhì)的測(cè)試。
大流量、不間斷和穩(wěn)定輸送

如何滿足大規(guī)模量產(chǎn)工廠對(duì)電子級(jí)氣體大流量、不間斷和穩(wěn)定輸送的要求是一個(gè)挑戰(zhàn)。

電子級(jí)氣體多以集中式供應(yīng)為趨勢(shì)，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統(tǒng)的數(shù)量是根據(jù)機(jī)臺(tái)對(duì)流量的需求進(jìn)行合理配置。特氣輸送設(shè)備必須采用全自動(dòng)切換供氣，而且多設(shè)計(jì)了備用設(shè)備。對(duì)于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)。

對(duì)于大流量的BSGS，不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對(duì)流量的影響，還要考慮氣體經(jīng)過(guò)調(diào)壓閥減壓后的焦耳-湯普遜效應(yīng)。一般而言，氣體減壓后，溫度會(huì)降低，甚至液化。這會(huì)照成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞。因此需要考慮在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱。氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS）通過(guò)計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸送系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)控，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

針對(duì)液化氣體（如氨氣）的BSGS，采用直接加熱液體的氣化輸送系統(tǒng)(Evaporator)已經(jīng)研發(fā)成型，很快會(huì)在BSGS的應(yīng)用上推廣。

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